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Investigartion of a planar microtriode fabricated with direct write nanolitghography using electron beam induced deposition
SELLMAIR, Josef
EDINGER, Klaus
KOOPS, Hans W. P
2004
Details
Autor(en) / Beteiligte
SELLMAIR, Josef
EDINGER, Klaus
KOOPS, Hans W. P
Titel
Investigartion of a planar microtriode fabricated with direct write nanolitghography using electron beam induced deposition
Ort / Verlag
Piscataway NJ: IEEE
Erscheinungsjahr
2004
Link zum Volltext
Quelle
IEEE Electronic Library (IEL)
Sprache
Englisch
Identifikatoren
ISBN: 0780383974, 9780780383975
DOI: 10.1109/IVNC.2004.1354943
Titel-ID: cdi_pascalfrancis_primary_17874840
Format
–
Schlagworte
Applied sciences
,
Electronics
,
Exact sciences and technology
,
Molecular electronics, nanoelectronics
,
Semiconductor electronics. Microelectronics. Optoelectronics. Solid state devices
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