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Vakuum in Forschung und Praxis : Zeitschrift für Vakuumtechnologie, Oberflèachen und Dünne Schichten, 2018-02, Vol.30 (1), p.35-39
2018
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Vakuum in Forschung und Praxis : Zeitschrift für Vakuumtechnologie, Oberflèachen und Dünne Schichten, 2017-02, Vol.29 (1), p.29-33
2017
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Japanese Journal of Applied Physics, 1994-12, Vol.33 (12B), p.7099-7107
1994
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Vakuum in Forschung und Praxis : Zeitschrift für Vakuumtechnologie, Oberflèachen und Dünne Schichten, 2018-02, Vol.30 (1), p.35-39
2018
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Vakuum in Forschung und Praxis : Zeitschrift für Vakuumtechnologie, Oberflèachen und Dünne Schichten, 2017-02, Vol.29 (1), p.29-33
2017
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Journal of vacuum science and technology. B, Nanotechnology & microelectronics, 2015-03, Vol.33 (2)
2015
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Non-English title
Vakuum in Forschung und Praxis : Zeitschrift für Vakuumtechnologie, Oberflèachen und Dünne Schichten, 2017-02, Vol.29 (1), p.29-33
2017
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Electron-beam-based photomask repair
Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures, 2004-11, Vol.22 (6), p.2902-2906
2004
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2013 26th International Vacuum Nanoelectronics Conference (IVNC), 2013, p.1-2
2013

Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures, 2005-03, Vol.23 (2), p.781-785
2005
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25th International Vacuum Nanoelectronics Conference, 2012, p.1-4
2012

Microelectronic engineering, 1989, Vol.9 (1), p.217-220
1989
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