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Details

Autor(en) / Beteiligte
Titel
Silizium-Halbleitertechnologie : Grundlagen mikroelektronischer Integrationstechnik
Auflage
7., korr. und verb. Aufl. 2019
Ort / Verlag
Wiesbaden : Springer Fachmedien Wiesbaden
Erscheinungsjahr
2019
Link zum Volltext
Sprache
Deutsch
Identifikatoren
ISBN: 9783658234447
DOI: 10.1007/978-3-658-23444-7
Titel-ID: 990227317920206441
Format
1 Online-Ressource (XI, 275 S. 177 Abb)
Schlagworte
Halbleitertechnologie, Silicium, Electronics, Systems engineering