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Mechanical microsensors
Microtechnology and mems, Physics and astronomy online library
2001
Signatur: YFB3439

Details

Autor(en) / Beteiligte
Titel
Mechanical microsensors
Ist Teil von
  • Microtechnology and mems
  • Physics and astronomy online library
Ort / Verlag
Berlin [u.a.] : Springer
Erscheinungsjahr
2001
Link zu anderen Inhalten
Sprache
Englisch
Identifikatoren
ISBN: 3540675825
OCLC-Nummer: 248008142, 248008142
Titel-ID: 990008857160106463
Format
X, 295 S. : Ill., graph. Darst.
Systemstelle
XXL, YFB
Schlagworte
Mikrosensor, Siliciumsensor, Mikromechanik, Halbleitertechnologie

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