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Mikrosensorik und Mikroelektronik : vom physikalischen Effekt zur Grundstruktur und zum Mikrosystem ; mit 32 Tabellen
Sensorik : 10 (Alle Bände)
Eigler, Hans
2000
Signatur: YFB3201
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Entwicklung einer Methodik zur Online-Qualitätsüberwachung des Ultraschall-Drahtbondprozesses mittels integrierter Mikrosensorik
HNI-Verlagsschriftenreihe : 238 (Alle Bände)
Brökelmann, Michael
2008
Signatur: YCB6540, P2013
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Mechanical microsensors
Microtechnology and mems, Physics and astronomy online library
Elwenspoek, Miko;Wiegerink, Remco J
2001
Signatur: YFB3439
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Piezoelectric transducers and applications
Arnau, Antonio[Herausgeber]
2008
Signatur: XXM1588(2)
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Piezoelectric transducers and applications
Arnau, Antonio[Herausgeber]
2004
Signatur: XXM1588
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Integrated Chemical Microsensor Systems in CMOS Technology [Elektronische Ressource]
Microtechnology and MEMS
Hierlemann, Andreas;Baltes, H;Fujita, Hiroyuki;Liepmann, Dorian
2005
Link zum Volltext
Springer Chemistry and Materials Science 2005-2008 (ZDB-1-SCM)
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