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IEEE transactions on semiconductor manufacturing, 2010-05, Vol.23 (2), p.201-209
2010











IEEE transactions on semiconductor manufacturing, 2006-02, Vol.19 (1), p.78-86
2006

IEEE transactions on semiconductor manufacturing, 2010-05, Vol.23 (2), p.168-177
2010



A Fab-Wide APC Sampling Application
IEEE transactions on semiconductor manufacturing, 2007-11, Vol.20 (4), p.393-399
2007



IEEE transactions on semiconductor manufacturing, 2007-11, Vol.20 (4), p.400-407
2007
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