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Details

Autor(en) / Beteiligte
Titel
Block Copolymer Lithography
Ist Teil von
  • Macromolecules, 2014-01, Vol.47 (1), p.2-12
Ort / Verlag
Washington, DC: American Chemical Society
Erscheinungsjahr
2014
Link zum Volltext
Quelle
Alma/SFX Local Collection
Beschreibungen/Notizen
  • This Perspective addresses the current state of block copolymer lithography and identifies key challenges and opportunities within the field. Significant strides in experimental and theoretical thin film research have nucleated the transition of block copolymers “from lab to fab”, but outstanding questions remain about the optimal materials, processes, and analytical techniques for first-generation devices and beyond. Particular attention herein is focused on advances and issues related to thermal annealing. Block copolymers are poised to change the traditional lithographic resolution enhancement paradigm from “top-down” to “bottom-up”.
Sprache
Englisch
Identifikatoren
ISSN: 0024-9297
eISSN: 1520-5835
DOI: 10.1021/ma401762n
Titel-ID: cdi_crossref_primary_10_1021_ma401762n

Weiterführende Literatur

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