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Installieren Sie die LibKey Nomad-Browsererweiterung und erhalten Sie von vielen Webseiten einfachen Zugriff auf lizenzierte Volltexte oder Open Access Publikationen. Mehr erfahren...Materials science and process technology series : Electronic materials and process technology
1992
Signatur: YFC1181
Materials science and process technology series : Electronic materials and process technology
1991
Signatur: YGY2000
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Autor / Autorin
- Tamim, Ahmed
- Chačaturyan, O. A
- Chopra, Kasturi L
- Christou, Aris
- Coutts, Timothy J
- Dammel, Ralph
- Feldman, Leonard C
- Flory, Francois R
- Glendinning, William B
- Hartnagel, Hans L
- Hayakawa, Shigeru
- Kaur, Inderjeet
- Klenk, Reiner
- Kuzʹminov, Jurij S
- MACFADDEN, PETER W
- Mayer, James W
- Mühlhaus, Volker
- Obernosterer, Frank
- Osterwinter, Heinz
- Prochorov, Aleksandr M
Erscheinungsform
Schlagwort
- Dünne Schicht
- Dünnschichttechnik
- CVD-Verfahren
- Ferroelektrikum
- Lithografie
- Anwendung
- Bauelement
- Beschichten
- Degradation
- Dünnschichtbauteil
- Elektromigration
- Elektronisches Bauelement
- Ferroelektrischer Analogspeicher
- Fotolithografie
- Gasphasenepitaxie
- Halbleiterbauelement
- Halbleiterschicht
- Integrierte Optik
- Mikromechanik
- Nichtmetallischer Werkstoff
Erscheinungsjahr
n.n
n.n
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Systemstelle
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