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Semiconductor-On-Insulator Materials for Nanoelectronics Applications [Elektronische Ressource]
Engineering Materials
2011

Details

Autor(en) / Beteiligte
Titel
Semiconductor-On-Insulator Materials for Nanoelectronics Applications [Elektronische Ressource]
Ist Teil von
  • Engineering Materials
Ort / Verlag
Berlin, Heidelberg : Springer-Verlag Berlin Heidelberg
Erscheinungsjahr
2011
Link zum Volltext
Sprache
Englisch
Identifikatoren
ISBN: 9783642158681
DOI: 10.1007/978-3-642-15868-1
OCLC-Nummer: 1076188632, 1076188632
Titel-ID: 990184715620206441
Format
–
Schlagworte
Nanoelektronik, SOI-Technik, Halbleitersubstrat, MOS-FET, CMOS, MEMS, Engineering, Nanotechnology, Surfaces (Physics)