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Integrated Chemical Microsensor Systems in CMOS Technology [Elektronische Ressource]
Microtechnology and MEMS
2005

Details

Autor(en) / Beteiligte
Titel
Integrated Chemical Microsensor Systems in CMOS Technology [Elektronische Ressource]
Ist Teil von
  • Microtechnology and MEMS
Ort / Verlag
Berlin, Heidelberg : Springer-Verlag Berlin Heidelberg
Erscheinungsjahr
2005
Link zum Volltext
Sprache
–
Identifikatoren
ISBN: 9783540273721
DOI: 10.1007/b138987
OCLC-Nummer: 262677851, 262677851
Titel-ID: 990156312130206441
Format
–
Schlagworte
Chemischer Sensor, Mikrosensor, Multisensor, Integrierter Sensor, CMOS, Mikrosystemtechnik, Optical materials, Nanotechnology, Surfaces (Physics), Electronics, Analytical biochemistry, Weights and measures