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MEMS/NEMS : handbook techniques and applications
Leondes, Cornelius T
[Herausgeber]
2005-
Signatur:
YFB3617
Details
Autor(en) / Beteiligte
Leondes, Cornelius T
[Herausgeber]
Titel
MEMS/NEMS : handbook techniques and applications
Ort / Verlag
New York : Springer
Erscheinungsjahr
2005-
Bände
Sprache
Englisch
Identifikatoren
ISBN: 0387245200
OCLC-Nummer: 1071581395, 1071581395
Titel-ID: 990009328230106463
Format
–
Systemstelle
YFB
Schlagworte
Mikromechanik
,
Mikroelektronik
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