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Silizium-Planartechnologie : Grundprozesse, Physik und Bauelemente
Lehrbuch : Elektrotechnik, Physik, Teubner-Studienbücher : Physik
1. Aufl, 2003
Signatur: YFB3413

Details

Autor(en) / Beteiligte
Titel
Silizium-Planartechnologie : Grundprozesse, Physik und Bauelemente
Ist Teil von
  • Lehrbuch : Elektrotechnik, Physik
  • Teubner-Studienbücher : Physik
Auflage
1. Aufl
Ort / Verlag
Stuttgart [u.a.] : Teubner
Erscheinungsjahr
2003
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Sprache
Deutsch
Identifikatoren
ISBN: 3519004674
OCLC-Nummer: 76564785, 76564785
Titel-ID: 990008805770106463
Format
XVII, 212 S. : graph. Darst.
Systemstelle
YFB
Schlagworte
Planartechnik, Siliciumbauelement

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