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A new X-ray diffractometer for the online monitoring of epitaxial processes [Elektronische Ressource]
2003
Volltextzugriff (PDF)

Details

Autor(en) / Beteiligte
Titel
A new X-ray diffractometer for the online monitoring of epitaxial processes [Elektronische Ressource]
Erscheinungsjahr
2003
Verknüpfte Titel
Beschreibungen/Notizen
  • Paderborn, Univ., Diss., 2003
  • Open Access
Sprache
Englisch
Identifikatoren
URN: urn:nbn:de:hbz:466-20030101154
OCLC-Nummer: 1106923240, 1106923240
Titel-ID: 990008715640106463
Format
–
Systemstelle
UIO, UIY
Schlagworte
Röntgendiffraktometer, In situ, Verbindungshalbleiter, Epitaxieschicht, MOCVD-Verfahren