Details
- Autor(en) / Beteiligte
- Titel
- A new X-ray diffractometer for the online monitoring of epitaxial processes
- Erscheinungsjahr
- 2003
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- Verknüpfte Titel
- Beschreibungen/Notizen
- Paderborn, Univ., Diss., 2003
- Sprache
- Englisch
- Identifikatoren
- OCLC-Nummer: 1106671205, 1106671205Titel-ID: 990008715600106463
- Format
- VI, 61 S. : graph. Darst.; 30 cm
- Systemstelle
- UIO, UIY
- Schlagworte
- Röntgendiffraktometer, In situ, Verbindungshalbleiter, Epitaxieschicht, MOCVD-Verfahren