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Untersuchung der Oberflächenrauhigkeit dünner Schichten durch Messung der diffusen Streuung und der Reflektivität von harten Röntgenstrahlen
Berichte des Forschungszentrums Jülich : 2603 (Alle Bände)
1992
Signatur: MQ2625

Details

Autor(en) / Beteiligte
Titel
Untersuchung der Oberflächenrauhigkeit dünner Schichten durch Messung der diffusen Streuung und der Reflektivität von harten Röntgenstrahlen
Ist Teil von
Ort / Verlag
Jülich : Forschungszentrum Jülich, Zentralbibliothek
Erscheinungsjahr
1992
Beschreibungen/Notizen
  • Aachen, Techn. Hochsch., Diss.
Sprache
Deutsch
Identifikatoren
OCLC-Nummer: 75332579, 75332579
Titel-ID: 990005974360106463
Format
204 S. : Ill., graph. Darst.
Systemstelle
UIY
Schlagworte
Halbleitergrenzfläche, Rauigkeit, Röntgenstreuung, Harte Röntgenstrahlung, Reflektometrie

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