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Eigenschaften und Technologien von laserrekristallisierten Siliziumdünnschichtbauelementen
Fortschritt-Berichte VDI : Reihe 9 : 69 (Alle Bände)
Als Ms. gedr, 1987
Signatur: XVW2188-69

Details

Autor(en) / Beteiligte
Titel
Eigenschaften und Technologien von laserrekristallisierten Siliziumdünnschichtbauelementen
Ist Teil von
Auflage
Als Ms. gedr
Ort / Verlag
Düsseldorf : VDI-Verl.
Erscheinungsjahr
1987
Sprache
Deutsch
Identifikatoren
ISBN: 3181469092
OCLC-Nummer: 635686324, 635686324
Titel-ID: 990004528670106463
Format
201 S. : Ill., graph. Darst.
Systemstelle
XVW
Schlagworte
Silicium, Dünne Schicht, Polykristall, Rekristallisation, Argonlaser

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