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Thin solid films, 2004-11, Vol.467 (1-2), p.16-27
2004
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Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures processing, measurement and phenomena, 2004-07, Vol.22 (4), p.1811-1821
2004
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2014
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Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures, 2004-07, Vol.22 (4), p.1811-1821
2004
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Nature (London), 2000-03, Vol.404 (6774), p.187-190
2000
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