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Installieren Sie die LibKey Nomad-Browsererweiterung und erhalten Sie von vielen Webseiten einfachen Zugriff auf lizenzierte Volltexte oder Open Access Publikationen. Mehr erfahren...Journal of vacuum science and technology. B, Nanotechnology & microelectronics, 2018-03, Vol.36 (2)
2018
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Microelectronic engineering, 2017-08, Vol.180, p.81-85
2017
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Journal of vacuum science and technology. B, Nanotechnology & microelectronics, 2016-03, Vol.34 (2)
2016
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2021 IEEE 71st Electronic Components and Technology Conference (ECTC), 2021, p.371-376
2021
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