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Materials science in semiconductor processing, 2022-08, Vol.147, p.106689, Article 106689
2022
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Journal of the Society of Materials Science, Japan, 2022/10/15, Vol.71(10), pp.830-834
2022
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Japanese Journal of Applied Physics, 2016-10, Vol.55 (10)
2016
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Journal of the Society of Materials Science, Japan, 2023/10/15, Vol.72(10), pp.750-756
2023
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Journal of crystal growth, 2008-11, Vol.310 (23), p.5007-5010
2008
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