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Pattern-generation and pattern-transfer for single-digit nano devices
Journal of vacuum science and technology. B, Nanotechnology & microelectronics, 2016-11, Vol.34 (6)
2016
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Low-energy electron exposure of ultrathin polymer films with scanning probe lithography
Microelectronic engineering, 2017-06, Vol.177, p.78-86
2017
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Large area fast-AFM scanning with active “Quattro” cantilever arrays
Journal of vacuum science and technology. B, Nanotechnology & microelectronics, 2016-11, Vol.34 (6)
2016
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Six-axis AFM in SEM with self-sensing and self-transduced cantilever for high speed analysis and nanolithography
Journal of vacuum science and technology. B, Nanotechnology & microelectronics, 2016-11, Vol.34 (6)
2016
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Scanning probes in nanostructure fabrication
Journal of vacuum science and technology. B, Nanotechnology & microelectronics, 2014-11, Vol.32 (6)
2014
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Nanofabrication by field-emission scanning probe lithography and cryogenic plasma etching
Microelectronic engineering, 2018-05, Vol.192, p.77-82
2018
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High-throughput process chain for single electron transistor devices based on field-emission scanning probe lithography and Smart Nanoimprint lithography technology
Journal of vacuum science and technology. B, Nanotechnology & microelectronics, 2019-03, Vol.37 (2)
2019
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Next generation lithography—the rise of unconventional methods?
Frontiers of Nanoscience, 2016, Vol.11, p.479-495
2016
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Tip-based nanolithography methods and materials
Frontiers of Nanoscience, 2016, Vol.11, p.497-542
2016
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Simulation of Fowler-Nordheim emission for scanning probe lithography
2017 30th International Vacuum Nanoelectronics Conference (IVNC), 2017, p.108-109
2017
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