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Journal of microelectromechanical systems, 2014-04, Vol.23 (2), p.428-437
2014


















2010 IEEE 23rd International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2010, p.1007-1010
2010



2012 IEEE 25th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2012, p.914-917
2012



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