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Review on copper chemical–mechanical polishing (CMP) and post-CMP cleaning in ultra large system integrated (ULSI)—An electrochemical perspective

Electrochimica acta, 2007-01, Vol.52 (5), p.1825-1838

2007

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A novel C-domain-dependent inhibition of the rainbow trout CMP-sialic acid synthetase activity by CMP-deaminoneuraminic acid

Biochemical and biophysical research communications, 2022-08, Vol.617 (Pt 1), p.16-21

2022

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難加工次世代単結晶のための次世代型CMP加工技術: プラズマ/CMP同時融合加工の実用化に向けて

精密工学会誌, 2022/06/05, Vol.88(6), pp.435-439

2022

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Cyclic CMP and cyclic UMP mediate bacterial immunity against phages

Cell, 2021-11, Vol.184 (23), p.5728-5739.e16

2021

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CMP

A Dictionary of Geology and Earth Sciences, 2020

Michael Allaby

5, 2020

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Inhibition of CMP-sialic acid transport by endogenous 5-methyl CMP

PloS one, 2021-06, Vol.16 (6), p.e0249905-e0249905

2021

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Conjugated macro-microporous polymer films bearing tetraphenylethylenes for the enhanced sensing of nitrotoluenesElectronic supplementary information (ESI) available: Experimental procedures, SEM images of the assembled silica spheres, PXRD patterns of the MA-CMP-F and control CMP-F, the Stern-Volmer plots of the emission quenching behaviors of the MA-CMP-F and control CMP-F, the simulation results of the MA-CMP-F and substrates, emission quenching behaviors of the MA-CMP-F toward O2, NO2, perch

2018-09

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Two New Matrix Classes Related to the CMP Inverse: CMP and Co-CMP Matrices

Mathematics (Basel), 2023-09, Vol.11 (17), p.3692

2023

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CMP Aerogels: Ultrahigh-Surface-Area Carbon-Based Monolithic Materials with Superb Sorption Performance

Advanced materials (Weinheim), 2014-12, Vol.26 (47), p.8053-8058

2014

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Radiosynthesis and evaluation of [11C]CMP, a high affinity GSK3 ligand

Bioorganic & medicinal chemistry letters, 2019-03, Vol.29 (6), p.778-781

2019

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Nanocatalyst-induced hydroxyl radical (·OH) slurry for tungsten CMP for next-generation semiconductor processing

Journal of materials science, 2020-03, Vol.55 (8), p.3450-3461

2020

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Advances in Chemical Mechanical Planarization (CMP)

Suryadevara, Babu

1, 2016

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Biosynthesis of UDP-α‑N‑Acetyl‑d -mannosaminuronic Acid and CMP-β‑N‑Acetyl‑d‑neuraminic Acid for the Capsular Polysaccharides of Campylobacter jejuni

Biochemistry (Easton), 2024-03, Vol.63 (5), p.688-698

2024

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Nonenzymatic Oligomerization of 3′,5′‐Cyclic CMP Induced by Proton and UV Irradiation Hints at a Nonfastidious Origin of RNA

Chembiochem : a European journal of chemical biology, 2017-08, Vol.18 (15), p.1535-1543

2017

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A magnetically controlled chemical–mechanical polishing (MC‐CMP) approach for fabricating channel‐cut silicon crystal optics for the High Energy Photon Source

Journal of synchrotron radiation, 2023-01, Vol.30 (1), p.84-89

2023

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Electrolytically Ionized Abrasive-Free CMP (EAF-CMP) for Copper

Applied sciences, 2021-08, Vol.11 (16), p.7232

2021

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Theoretical validation of inhibition mechanisms of benzotriazole with copper and cobalt for CMP and post-CMP cleaning applications

Microelectronic engineering, 2022-06, Vol.262, p.111833, Article 111833

2022

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Chemoenzymatic synthesis of CMP–sialic acid derivatives by a one-pot two-enzyme system: comparison of substrate flexibility of three microbial CMP–sialic acid synthetases

Bioorganic & medicinal chemistry, 2004-12, Vol.12 (24), p.6427-6435

2004

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Probing the CMP‐Sialic Acid Donor Specificity of Two Human β‐d‐Galactoside Sialyltransferases (ST3Gal I and ST6Gal I) Selectively Acting on O‐ and N‐Glycosylproteins

Chembiochem : a European journal of chemical biology, 2017-07, Vol.18 (13), p.1251-1259

2017

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Advances in Chemical Mechanical Planarization (CMP)

Suryadevara, Babu

2nd edition, 2021

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Approaches to Sustainability in Chemical Mechanical Polishing (CMP): A Review

International Journal of Precision Engineering and Manufacturing-Green Technology, 2022, 9(1), , pp.349-367

2022

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XPS, UV–vis spectroscopy and AFM studies on removal mechanisms of Si-face SiC wafer chemical mechanical polishing (CMP)

Applied surface science, 2014-10, Vol.316, p.643-648

2014

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N -Glycolylneuraminic Acid (Neu5Gc) Null Large Animals by Targeting the CMP-Neu5Gc Hydroxylase (CMAH)

Frontiers in immunology, 2019-10, Vol.10, p.2396-2396

2019

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Coexpression of CMP‐sialic acid transporter reduces N‐glycolylneuraminic acid levels of recombinant glycoproteins in Chinese hamster ovary cells

Biotechnology and bioengineering, 2019-11, Vol.116 (11), p.2815-2822

2019

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Investigation of green alkaline pH regulators on sapphire UV-CMP

Tribology international, 2023-02, Vol.178, p.108047, Article 108047

2023

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