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Journal of microelectromechanical systems, 2009-04, Vol.18 (2), p.466-479
2009
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Microelectronic engineering, 2009-04, Vol.86 (4), p.1074-1077
2009
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Microsystem technologies, 2007-07, Vol.13 (11-12), p.1589-1594
2007
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Thin solid films, 2001-02, Vol.383 (1-2), p.151-153
2001
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Journal sur l'enseignement des sciences et technologies de l'information et des systèmes, 2005, Vol.4 (HORS SÉRIE 2), p.28
2005
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Journal of microelectromechanical systems, 2009-04, Vol.18 (2), p.466
2009
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2009 IEEE 22nd International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 2009, p.638-641
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Houille blanche, 2003-01 (4), p.75-81
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2009 Proceedings of the European Solid State Device Research Conference, 2009, p.379-382
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ESSDERC 2008 - 38th European Solid-State Device Research Conference, 2008, p.302-305
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2007 International Semiconductor Conference, 2007, Vol.2, p.397-402
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2009 Proceedings of the European Solid State Device Research Conference, 2009, p.205-208
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21st International Conference on VLSI Design (VLSID 2008), 2008, p.119-124
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ESSDERC 2007 - 37th European Solid State Device Research Conference, 2007, p.167-170
2007
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