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Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures processing, measurement and phenomena, 1997-09, Vol.15 (5), p.1818-1824
1997
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Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures, 2000-11, Vol.18 (6), p.3569-3571
2000
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Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures processing, measurement and phenomena, 1991-11, Vol.9 (6), p.3292-3296
1991
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Applied physics letters, 1999-06, Vol.74 (26), p.4064-4066
1999
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Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures processing, measurement and phenomena, 1992-11, Vol.10 (6), p.3067-3071
1992
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MRS proceedings, 1989, Vol.162, Article 457
1989
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Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures processing, measurement and phenomena, 1991-03, Vol.9 (2), p.845-852
1991
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Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures processing, measurement and phenomena, 1994-11, Vol.12 (6), p.3351-3355
1994
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Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures processing, measurement and phenomena, 1998-11, Vol.16 (6), p.3695-3700
1998
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Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures processing, measurement and phenomena, 1998-11, Vol.16 (6), p.3773-3778
1998
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Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures processing, measurement and phenomena, 1994-11, Vol.12 (6), p.3884-3887
1994
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