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Microelectronic engineering, 2004-06, Vol.73, p.228-232
2004
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Microelectronic engineering, 2003-06, Vol.67, p.292-299
2003
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Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures, 2002-11, Vol.20 (6), p.2958-2961
2002
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Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures, 2004-11, Vol.22 (6), p.3485-3488
2004
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