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Physica status solidi. A, Applications and materials science, 2015-12, Vol.212 (12), p.2772-2775
2015
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IEEE transactions on semiconductor manufacturing, 2016-11, Vol.29 (4), p.343-348
2016










Journal of vacuum science and technology. B, Nanotechnology & microelectronics, 2011-03, Vol.29 (2)
2011
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Physica status solidi. A, Applications and materials science, 2011-07, Vol.208 (7), p.1504-1506
2011
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