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Installieren Sie die LibKey Nomad-Browsererweiterung und erhalten Sie von vielen Webseiten einfachen Zugriff auf lizenzierte Volltexte oder Open Access Publikationen. Mehr erfahren...Advanced materials (Weinheim), 2016-12, Vol.28 (45), p.10068-10072
2016
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Journal of Photopolymer Science and Technology, 2017/06/26, Vol.30(2), pp.187-190
2017
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ACS nano, 2019-04, Vol.13 (4), p.4073-4082
2019
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ACS applied materials & interfaces, 2019-12, Vol.11 (51), p.48419-48427
2019
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Journal of vacuum science and technology. B, Nanotechnology & microelectronics, 2015-11, Vol.33 (6)
2015
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Journal of micro/nanolithography, MEMS, and MOEMS, 2017-07, Vol.16 (3), p.1
2017
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Journal of micro/nanolithography, MEMS, and MOEMS, 2016-10, Vol.15 (4), p.43505
2016
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Via patterning in the 7-nm node using immersion lithography and graphoepitaxy directed self-assembly
2017
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Journal of micro/nanolithography, MEMS, and MOEMS, 2016-07, Vol.15 (3), p.31603
2016
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Journal of micro/nanolithography, MEMS, and MOEMS, 2018-07, Vol.17 (3), p.1
2018
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