Sie befinden Sich nicht im Netzwerk der Universität Paderborn. Der Zugriff auf elektronische Ressourcen ist gegebenenfalls nur via VPN oder Shibboleth (DFN-AAI) möglich. mehr Informationen...



Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures, 2013-05, Vol.31 (3)
2013
Volltextzugriff (PDF)