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2023 IEEE Power & Energy Society General Meeting (PESGM), 2023, p.1-5
2023
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2014 4th International Electric Drives Production Conference (EDPC), 2014, p.1-6
2014
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IEEE transactions on semiconductor manufacturing, 2002-11, Vol.15 (4), p.470-477
2002
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Automatisierungstechnik : AT, 1996-10, Vol.44 (10), p.479-486
1996
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2001 IEEE International Symposium on Semiconductor Manufacturing. ISSM 2001. Conference Proceedings (Cat. No.01CH37203), 2001, p.129-132
2001
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