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Adhesive wafer bonding
Journal of applied physics, 2006-02, Vol.99 (3), p.031101-031101-28
2006
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Applied physics letters, 2018-12, Vol.113 (24)
2018
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Journal of applied physics, 2020-10, Vol.128 (14)
2020
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Journal of applied physics, 2008-03, Vol.103 (6), p.064908-064908-6
2008
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Review of scientific instruments, 2016-11, Vol.87 (11), p.114902
2016
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Journal of applied physics, 2004-11, Vol.96 (9), p.4909-4915
2004
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Journal of applied physics, 2010-08, Vol.108 (3), p.033103-033103-7
2010
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Journal of applied physics, 2019-03, Vol.125 (11)
2019
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