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難加工次世代単結晶のための次世代型CMP加工技術: プラズマ/CMP同時融合加工の実用化に向けて

精密工学会誌, 2022/06/05, Vol.88(6), pp.435-439

2022

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Approaches to Sustainability in Chemical Mechanical Polishing (CMP): A Review

International Journal of Precision Engineering and Manufacturing-Green Technology, 2022, 9(1), , pp.349-367

2022

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CMP-PIM: an energy-efficient comparator-based processing-in-memory neural network accelerator

Proceedings of the 55th Annual Design Automation Conference, 2018, p.1-6

2018

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Cobalt CMP Development for 7nm Logic Device

ECS transactions, 2017, Vol.77 (5), p.93-97

2017

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Phylogenetic Distribution of CMP-Neu5Ac Hydroxylase (CMAH), the Enzyme Synthetizing the Proinflammatory Human Xenoantigen Neu5Gc

Genome biology and evolution, 2018-01, Vol.10 (1), p.207-219

2018

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Impacts of Post-Cu CMP Queue Time on Reliability

2024 IEEE International Reliability Physics Symposium (IRPS), 2024, p.1-5

2024

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Development of “Soft” Cleaning Chemistries for Enhanced STI Post-CMP Cleaning

ECS transactions, 2019-07, Vol.92 (2), p.165-174

2019

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Next Generation CMP Process Technique for Hard-to-Process Single Crystals: プラズマ/CMP同時融合加工の実用化に向けて

Seimitsu Kōgakkaishi, 2022-06, Vol.88 (6), p.435-439

2022

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CMP

A Dictionary of Geology and Earth Sciences, 2013

Michael Allaby

4, 2013

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CMP

A Dictionary of Travel and Tourism, 2012

Allan Beaver

1, 2012

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Application for CMP Technology on the Advanced ULSI Device Fabrication

Journal of the Japan Society for Precision Engineering, 2022/08/05, Vol.88(8), pp.627-630

2022

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반도체 화학기계적 평탄화(CMP)

Kigye chŏnŏl = Journal of the Korean Society of Mechnical Engineers, 2018, Vol.58 (9), p.42-46

이현섭

2018

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Effect of glycine on copper CMP

International Journal of Precision Engineering and Manufacturing-Green Technology, 2016, 3(2), , pp.155-159

2016

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半導体プロセスにおけるCMP技術の適用

精密工学会誌, 2022/08/05, Vol.88(8), pp.627-630

2022

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Balancing DRAM locality and parallelism in shared memory CMP systems

IEEE International Symposium on High-Performance Comp Architecture, 2012, p.1-12

2012

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ASR: Adaptive Selective Replication for CMP Caches

2006 39th Annual IEEE/ACM International Symposium on Microarchitecture (MICRO'06), 2006, p.443-454

2006

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プラナリゼーションCMPとその応用技術専門委員会　設立25周年を機にさらなる飛躍を目指して

精密工学会誌, 2020/10/05, Vol.86(10), pp.741-745

2020

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Design of “Low Stress” Post-CMP Cleaning Processes for Advanced Technology Nodes

ECS transactions, 2022-05, Vol.108 (4), p.3-15

2022

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先端デバイスのCMP後洗浄技術

精密工学会誌, 2018/03/05, Vol.84(3), pp.230-234

2018

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FlexDCP: a QoS framework for CMP architectures

Operating systems review, 2009, Vol.43 (2), p.86-96

2009

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ELID研削とCMPを連携させたバイオコンパチブル表面創成の試み

精密工学会誌, 2022/06/05, Vol.88(6), pp.453-458

2022

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CMP network-on-chip overlaid with multi-band RF-interconnect

2008 IEEE 14th International Symposium on High Performance Computer Architecture, 2008, p.191-202

2008

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CMP

A Dictionary of Abbreviations, 2011

Burt Vance

1, 2011

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CMP

A Dictionary of Abbreviations, 2011

Burt Vance

1, 2011

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CMP

A Dictionary of Abbreviations, 2011

Burt Vance

1, 2011

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