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Compact Low Loss MEMS Phase Shifters for Scalable Field-Programmable Silicon Photonics
Ist Teil von
2020 Conference on Lasers and Electro-Optics (CLEO), 2020, p.1-2
Ort / Verlag
OSA
Erscheinungsjahr
2020
Link zum Volltext
Quelle
IEEE/IET Electronic Library (IEL)
Beschreibungen/Notizen
MEMS offer low power tunability to silicon photonics. However, reported phase shifters lack in range, IL, or linearity. We show π linear phase shift in compact, 0.2 dB-IL MEMS devices, and demonstrate trade-offs for scalability.