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Theoretical validation of inhibition mechanisms of benzotriazole with copper and cobalt for CMP and post-CMP cleaning applications
Microelectronic engineering, 2022-06, Vol.262, p.111833, Article 111833
2022

Details

Autor(en) / Beteiligte
Titel
Theoretical validation of inhibition mechanisms of benzotriazole with copper and cobalt for CMP and post-CMP cleaning applications
Ist Teil von
  • Microelectronic engineering, 2022-06, Vol.262, p.111833, Article 111833
Erscheinungsjahr
2022
Link zum Volltext
Quelle
Elsevier ScienceDirect Journals Complete
Sprache
Englisch
Identifikatoren
ISSN: 0167-9317
eISSN: 1873-5568
DOI: 10.1016/j.mee.2022.111833
Titel-ID: cdi_crossref_primary_10_1016_j_mee_2022_111833
Format
–

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