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Ferroelektretsensor zur Messung der Kavitation in UltraschallreinigungsbädernFerroelectret Sensor for Measurement of Cavitation in Ultrasonic Cleaning Systems
Bisherige empirische Ansätze zur Auslegung von Ultraschallreinigungsanlagen werden der in der industriellen Fertigung geforderten Reinigungseffizienz nicht mehr gerecht. Die vorliegende Arbeit beschreibt die Entwicklung von Werkzeugen zur Charakterisierung von Kavitationseffekten, welche die Hauptmechanismen der Reinigungswirkung sind. Die Kavitationsintensität wird anhand des Auftretens charakteristischer Anteile im Druckspektrum bestimmt. Hierfür wird die Entwicklung eines Sensorarrays auf Basis eines neuartigen, zellular strukturierten Ferroelektrets vorgestellt, das flexibel auf Bauteiloberflächen aufgebracht werden kann. Mittels Reinigungsuntersuchungen wird die Korrelation spektraler Druckanteile mit der Erosionswirkung auf Probekörpern abgeleitet und die Abhängigkeiten von diversen Einflussparametern ermittelt.