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Details

Autor(en) / Beteiligte
Titel
Demonstration of a GaN-Based Vertical-Channel JFET Fabricated by Selective-Area Regrowth
Ist Teil von
  • IEEE transactions on electron devices, 2018-12, Vol.65 (12), p.5329-5336
Ort / Verlag
New York: IEEE
Erscheinungsjahr
2018
Link zum Volltext
Quelle
IEEE Xplore
Beschreibungen/Notizen
  • One of the key challenges for vertical GaN power devices is their complex fabrication process. We present the first experimental realization of a GaN-based vertical-channel junction field-effect transistor. A selective-area regrowth process was developed to epitaxially form the lateral p-n junction used for current control in the channel. First devices fabricated show an <inline-formula> <tex-math notation="LaTeX">{R}_{\mathrm{ON}}=\textsf {2.36}\,\,\text {m}\Omega \text {cm}^{{2}} </tex-math></inline-formula> and demonstrate basic current modulation. We discuss the device characteristics and limitations. Based on a TCAD model fitted to the experimental data, we explore the design rules for future device implementation.

Weiterführende Literatur

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