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A piezoelectric micromachined ultrasonic transducer with mechanical grooves
Journal of micromechanics and microengineering, 2021-08, Vol.31 (8), p.85009
2021
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Details

Autor(en) / Beteiligte
Titel
A piezoelectric micromachined ultrasonic transducer with mechanical grooves
Ist Teil von
  • Journal of micromechanics and microengineering, 2021-08, Vol.31 (8), p.85009
Ort / Verlag
IOP Publishing
Erscheinungsjahr
2021
Quelle
Alma/SFX Local Collection
Sprache
Englisch
Identifikatoren
ISSN: 0960-1317
eISSN: 1361-6439
DOI: 10.1088/1361-6439/ac11b1
Titel-ID: cdi_crossref_primary_10_1088_1361_6439_ac11b1
Format
–
Schlagworte
AC-PMUT, AlN, mechanical coupling coefficient, mechanical grooves, quality factor, transmitting sensitivity

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