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Details
- Autor(en) / Beteiligte
- Titel
- Materials Processing by Cluster Ion Beams: History, Technology, and Applications
- Auflage
- 1
- Ort / Verlag
- United States: CRC Press
- Erscheinungsjahr
- 2015
- Link zum Volltext
- Quelle
- Alma/SFX Local Collection
- Beschreibungen/Notizen
- Materials Processing by Cluster Ion Beams: History, Technology, and Applications discusses the contemporary physics, materials science, surface engineering issues, and nanotechnology capabilities of cluster beam processing. Written by the originator of the gas cluster ion beam (GCIB) concept, this book:Offers an overview of ion beam technologies, f
- Sprache
- Englisch
- Identifikatoren
- ISBN: 9781498711760, 1498711766, 1498711758, 9780367872298, 9781498711753, 0367872293DOI: 10.1201/b18745Titel-ID: cdi_askewsholts_vlebooks_9781498711760
- Format
- –
- Schlagworte
- Condensed Matter Physics, Congresses, dose, dynamics, Effect of radiation on, ElectricalEngineeringnetBASE, ENGnetBASE, gas, implantation, Industrial Electronics, Ion bombardment, Ion implantation, ionization, ions, Materials, Materials Science, MATERIALSnetBASE, molecular, monomer, Nanostructured materials, Physics, PHYSICSnetBASE, SCI-TECHnetBASE, Silicon, simulations, size, STMnetBASE