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Autor(en)
Takabayashi, Alain Yuji
Artikel
Broadband Compact Single-Pole Double-Throw Silicon Photonic MEMS Switch
Titel
Journal of microelectromechanical systems : a joint IEEE and ASME publication on microstructures, microactuators, microsensors, and microsystems.
Verlag
Institute of Electrical and Electronics Engineers,
Ort
New York, NY :
Erscheinungsjahr
c1992-
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