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Autor(en)
Heintze, M.
Artikel
New diagnostic aspects of high rate a-Si:H deposition in a VHF plasma
Titel
Journal of non-crystalline solids a journal on the chemical, electronic, optical and mechanical properties of glasses, amorphous semiconductors and metals, sol-gel materials, the liquid state of these solids and the processes by which they are formed
Verlag
North-Holland Publ. Co.
Ort
Amsterdam
Erscheinungsjahr
1968-
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