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Autor(en)
Koster, Monika
Artikel
Damage production in a -Si under low-energy self-atom bombardment
Titel
Journal of Applied Physics
Seiten
689-695
Band
90
Heft
2
Verlag
American Institute of Physics
Ort
Melville, NY
Erscheinungsjahr
2001
Identifikatoren
ISSN: 0021-8979; eISSN: 1089-7550
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