Sie befinden Sich nicht im Netzwerk der Universität Paderborn. Der Zugriff auf elektronische Ressourcen ist gegebenenfalls nur via VPN oder Shibboleth (DFN-AAI) möglich. mehr Informationen...
Link-Resolver
Folgender Titel konnte gefunden werden
Autor(en)
PARK, Sunggook
Artikel
Anti-adhesive layers on nickel stamps for nanoimprint lithography
Titel
Microelectronic engineering
Seiten
196-201
Band
73-74
Verlag
Elsevier
Ort
[Erscheinungsort nicht ermittelbar]
Erscheinungsjahr
2004
Identifikatoren
ISSN: 0167-9317; eISSN: 1873-5568
Volltextzugriff (PDF)