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Autor(en)
Bolzmacher, Christian
Artikel
Robust miniaturized amplification unit for piezoelectric actuators: comparison of single crystal silicon and superelastic nickel titanium as membrane materials
Titel
Microsystem technologies : sensors, actuators, systems integration
Seiten
847-853
Band
16
Heft
5
Verlag
Springer
Ort
Berlin
Erscheinungsjahr
2010
Identifikatoren
ISSN: 0946-7076; eISSN: 1432-1858
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