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Autor(en)

Antunes, V G

Artikel

Influence of the magnetic field on the extension of the ionization region in high power impulse magnetron sputtering discharges

Titel

Plasma sources science and technology

Band

32

Heft

7

Verlag

IOP Pub.

Ort

[Bristol?]

Erscheinungsjahr

2023

Identifikatoren

ISSN: 0963-0252; eISSN: 1361-6595

Volltextzugriff (PDF)

• Freie Ressource

  EZB-NALI9-00469 IOP Journals Complete NK

  Verfügbar von 1992 Band: 1.;