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Autor(en)

DRESSICK, W. J

Artikel

Patterning of self-assembled films using lithographic exposure tools

Titel

Japanese journal of applied physics JJAP

Seiten

5829-5839

Band

32

Verlag

Ōyō Butsuri Gakkai

Ort

Tokyo

Erscheinungsjahr

1993

Identifikatoren

ISSN: 0021-4922; eISSN: 1347-4065

Volltextzugriff (PDF)

• Freie Ressource

  EZB-NALI9-00469 IOP Journals Complete NK

  Verfügbar von 1962 Band: 1.;