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Autor(en)
Oh, Seung Hoon
Artikel
Atomic Layer Deposition of Ru Thin Film Using a Newly Synthesized Precursor with Open‐Coordinated Ligands
Titel
Advanced materials interfaces
Band
10
Heft
17
Verlag
Wiley-VCH
Ort
Weinheim, Germany
Erscheinungsjahr
2023
Identifikatoren
ISSN: 2196-7350; eISSN: 2196-7350
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