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Autor(en)

Babar, S

Artikel

Growth Inhibitor To Homogenize Nucleation and Obtain Smooth HfB2 Thin Films by Chemical Vapor Deposition

Titel

Chemistry of materials a publication of the American Chemical Society

Seiten

662-667

Band

25

Heft

5

Verlag

Soc

Ort

Washington, DC

Erscheinungsjahr

2013

Identifikatoren

ISSN: 0897-4756; eISSN: 1520-5002

Volltextzugriff (PDF)

• Freie Ressource

  EZB-HBZAC-01474 hbzKon acs KP

  Verfügbar von 1996 Band: 8 Heft: 1.;