Folgender Titel konnte gefunden werden
- Autor(en)
- Huang, Y H
- Artikel
- Scatterometry measurement for gate ADI and AEI CD of 28nm metal gates
- Titel
- Solid state technology
- Seiten
- 11-13
- Band
- 54
- Heft
- 8
- Verlag
- Cowan Pub Corp
- Ort
- Port Washington, N.Y.
- Erscheinungsjahr
- 2011
- Identifikatoren
- ISSN: 0038-111X
Volltextzugriff (PDF)
Leider kein Volltext verfügbar.
Weitere Recherchemöglichkeiten
- Suche nach weiteren Exemplaren des Werkes, z.B. Ausgaben in Print, alternative elektronische Ausgaben, andere Auflagen etc.
- Neue Suche in unserem großen Datenpool an lizenzierten E-Journals, E-Books u.a. Online-Publikationen. Verwenden Sie ggf. auch verwandte Suchbegriffe.
- Geben Sie bei Bedarf direkt eine Fernleihbestellung auf.