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Autor(en)
Doan, H. T.
Artikel
Application of Optical Emission Spectroscopy for Predicting the Composition of Films in Reactive Magnetron Sputtering of Ti-Al Composite Targets
Titel
Surface engineering and applied electrochemistry.
Verlag
Allerton Press
Ort
[New York] :
Erscheinungsjahr
1993
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