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Autor(en)

Durina, P

Artikel

Patterning of structures by e-beam lithography and ion etching for gas sensor applications

Titel

Journal of physics

Seiten

12037-5

Band

514

Heft

1

Verlag

Institute of Physics

Ort

[London]

Erscheinungsjahr

2014

Identifikatoren

ISSN: 1742-6588; eISSN: 1742-6596

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• Freie Ressource

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  Verfügbar von 2004 Band: 1.;