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Autor(en)

Kaiser, Bert

Artikel

Concept and proof for an all-silicon MEMS micro speaker utilizing air chambers

Titel

Microsystems & nanoengineering

Seiten

1-11

Band

5

Heft

1

Verlag

Nature Publishing Group

Ort

[London]

Erscheinungsjahr

2019

Identifikatoren

ISSN: 2096-1030; eISSN: 2055-7434

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• Freie Ressource

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  Verfügbar von 2015 Band: 1.;